铸铁平台平面粗糙的检测方法-干涉显微镜测量法

　　干涉显微镜是利用光波干涉原理，以光波波长为基准来测量表面粗糙度的。被测表面有一些粗糙度就呈现出凸凹不平的峰谷状干涉条纹，通过目镜观察、利用测微装置测量这些干涉条纹的数目和峰谷的弯曲程度，即可计算出表面粗糙度的Ra值。有需要时还可将干涉条纹的峰谷拍照下来评定。

　　干涉法适用于加工的表面粗糙度测量。适合在计量室使用。